半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)是一套應(yīng)用在半導(dǎo)體測(cè)試行業(yè)中進(jìn)行高溫低溫測(cè)試的系統(tǒng)，其中溫度范圍比較寬，低溫可達(dá)-45℃，高溫可達(dá)250℃，半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水分，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙蜏刈詣?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。

　　半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)整個(gè)真空室位于擴(kuò)散泵正上方，有利于抽氣，加快抽氣速率，使真空室容易達(dá)到高真空。真空室內(nèi)設(shè)有紫銅封閉液氮池，可以在高真空下吸附氣體分子，提高真空度1個(gè)數(shù)量。使被測(cè)物在高真空中，不受環(huán)境影響進(jìn)行測(cè)試、分析。

　　半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)真空室裝置的真空室的法蘭與真空機(jī)組的擴(kuò)散泵抽氣法蘭對(duì)接，開(kāi)口處是20mm厚的防爆玻璃為觀察窗口，內(nèi)腔由紫銅液氮池，由漏斗將液氮倒入，經(jīng)直徑6mm的紫銅管進(jìn)入液氮池，另一根管口是揮發(fā)出氣口，池頂?shù)钠脚_(tái)是樣品測(cè)試臺(tái)，上面有15根測(cè)試用線，引出真空室外，在外面連接各種測(cè)量設(shè)備。真空室內(nèi)的氣體分子被吸附固定在液氮池表面，提高了真空度。透過(guò)高溫防爆玻璃，還可以觀察測(cè)量樣品的位移變化和發(fā)光強(qiáng)度。

　　半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)取放樣品時(shí)，先將固定玻璃的緊固圈旋開(kāi)，拿開(kāi)防爆玻璃再取放樣片。法蘭口與擴(kuò)散泵的抽氣口連接，真空度在1小時(shí)內(nèi)可達(dá)1.5×10-3Pa。需要低溫時(shí)將2升液氮由漏斗到入內(nèi)腔液氮池，出氣孔位于內(nèi)腔液氮池的頂部，由直徑6mm的紫銅管引出密封真空室外，樣品五分鐘內(nèi)可由室溫降到-45℃。在液氮蒸發(fā)減少過(guò)程中，液面降低，溫度逐漸上升，控制液面的高低，就可以控制溫度?？刂聘唛y大小，就可以控制真空度。需要高溫測(cè)試時(shí)，可由調(diào)壓器控制真空室內(nèi)部的輻射式加熱器提升到較高250℃。可通過(guò)引入線控制加熱溫度，進(jìn)行導(dǎo)電率、發(fā)光率、變形率、超導(dǎo)率的測(cè)試。

　　半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)的導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度都可以反饋，升降溫快速，效果穩(wěn)定。（注：本來(lái)部分內(nèi)容來(lái)百度學(xué)術(shù)相關(guān)論文，如果侵權(quán)，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們進(jìn)行刪除，謝謝。）